〈祖業はポンプ〉荏原の半導体装置参入は｢歴史の必然｣だった､日の丸半導体の黄金期に磨かれたCMP装置の革新性 | ビジネス | 東洋経済オンライン インフラ用途に始まり､荏原のポンプ技術は半導体産業の最前線へと進化。顧客の課題解決への執念と挑戦に伴走することで､荏原の半導体装置は成長を遂げてきた。ポンプから半導体製造装置へと事業展開するのは… 東洋経済 2026年10月07日 20:30